氣相沉積爐日常使用方法有哪些呢　　氣相沉積爐主要用于半導體元器件及電力整流裝置的燒結工藝，可進行真空燒結、氣體保護燒結及常規燒結，是半導體專用設備系列中新穎的技術裝備，設計思路新穎，操作方便，結構緊湊，一臺設備即可完成多個工藝流程。也可用于其他領域的真空熱處理、真空釬焊等工藝，那么下面一起了解下爐子的使用必備技巧吧!　　氣相沉積爐在抽真空后氫氣保護的情況下，利用中頻感應加熱原理，使位于盤管內的鎢坩堝達到高溫，通過熱輻射傳導到工作中，適用于科研、軍工部門對鎢、鉬及其合金粉末進行成型燒結。安裝爐子的場地應符合真空衛生要求，周圍空氣清潔干燥，通風條件好，工作場所不易揚起灰塵等。它的日常使用方法：　　1、檢查控制柜內所有零部件及部件是否完好、完好?！　?、控制柜安裝固定在相應的基礎上?！　?、查看接線圖，參考電路圖，連接外接主回路和控制回路，可靠接地，保證接線無誤?！　?、檢查電器活動部位活動自如，無卡死現象?！　?、絕緣電阻不應小于2萬億歐姆?！　?、氣相沉積爐各閥門必須在關閉位置?！　?、控制電源開關置于斷開位置?！　?、手動調壓旋鈕逆時針轉動頭?！　?、將報警按鈕置于打開位置?！　?0、平面圖完成設備循環冷卻水連接時，建議用戶在氣相沉積爐總進出水管處再加一層備用水(可用自來水)，防止循環水故障或斷電引起密封圈燃燒。

　　氣相沉積爐的優勢有哪些　　氣相沉積爐為沉積爐主體內有加熱室，水冷電極，測溫熱電偶，是處理工件的核心部分。下面是關于爐子優勢介紹?！　‰娮锠t可采用多溫區獨立控溫，溫度均勻性好；　　氣相沉積爐采用智能壓力調控，壓力波動??；　　全封閉沉積室，密封效果好，抗污染能力強；　　多通道工藝氣路，流程均勻，無沉積死角，沉積效果好；　　多級尾氣處理系統，環境友好，能很快收集焦油及副產物，易清理；　　氣相沉積爐可選配外循環快冷系統，降溫時間短，生產效率高。